同时测定工业硅、高纯硅中的铁、钙、磷、硼、钠、钛等十七个杂质元素

2008-10-16 09:48 I 阅读:3136

FWS-1000型ICP-AES法同时测定 工业硅、高纯硅中Fe、Ca、P、B、Na、Ti等十七个杂质元素 摘要: 本文研究了ICP-AES法测定工业硅及高纯硅中杂质元素的具体测试方法,该方法对产品质量控制及检验杂质元素含量,具有可操作性和很好地应用价值。 关键词: ICP-AES、工业硅、高纯硅、杂质元素测定

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